MEMS传感器是指采用微机械加工和半导体工艺制造而成的新型传感器。因其体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、易于集成和批量化生产等优势,逐步取代传统机械传感器的主导地位,被广泛应用于消费电子、汽车......